高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術能達到的某個等級純度的氣體。

　　高純氣體對于不同類別的氣體，純度指標不同，例如對于氮，氫，氬，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；對于碳氫化合物，純度為99.99%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領域很寬，在半導體工業(yè)，高純氮、氫、氬、氦可作為運載氣和保護氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。高純氣體根據(jù)分子結構的不同可以分為有機高純氣體，和無機高純氣體。