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技術(shù)指標(biāo):執(zhí)行國家標(biāo)準(zhǔn) GB/T3634.2-2011
	 
	 
						序號 
					 
						指標(biāo)名稱 
					 
						技術(shù)要求 
					 
						1 
					 
						氦氣(He2)純度,10-2 
					 
						≥99.999 
					 
						2 
					 
						氧(O2)+氬(AR)含量(體積分?jǐn)?shù)),10-6 
					 
						< 1 
					 
						3 
					 
						水分(H2O)含量(體積分?jǐn)?shù)),10-6 
					 
						< 3 
					 
						4 
					 
						氮氣(N2)含量(體積分?jǐn)?shù)),10-6 
					 
						< 2 
					 
						5 
					 
						氖氣(Ne2)含量(體積分?jǐn)?shù)),10-6 
					 
						 < 4 
					 
						6  
					 
						氫氣(H2)含量(體積分?jǐn)?shù)),10-6 
					 
						< 1 
					 
						7 
					 
						一氧化碳(CO)含量(體積分?jǐn)?shù)),10-6 
					 
						< 0.5 
					 
						8 
					 
						二氧化碳(CO2)含量(體積分?jǐn)?shù)),10-6 
					 
						< 0.5 
					 
						9 
					 
						甲烷(CH4)含量(體積分?jǐn)?shù)),10-6 
					 
						< 0.5 
					 
						10 
					 
						總雜質(zhì)含量(體積分?jǐn)?shù)),10-6 
					 
						≤  10