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技術指標:執(zhí)行國家標準 GB/T14599-2008
	
 
| 序號 | 指標名稱 | 技術要求 | 
| 1 | 氧氣(O2)純度,10-2 | ≥99.999 | 
| 2 | 水分(H2O)含量(體積分數(shù),10-6 | ≤2 | 
| 3 | 氮氣(N2)含量(體積分數(shù)),10-6 | ≤5 | 
| 4 | 氬(AR)含量(體積分數(shù)),10-6 | ≤2 | 
| 5 | 氫氣(H2)含量(體積分數(shù)),10-6 | ≤0.5 | 
| 6 | 二氧化碳(CO2)含量(體積分數(shù)),10-6 | ≤0.5 | 
| 7 | 總烴含量(體積分數(shù))(以甲烷計),10-6 | ≤0.5 |